無錫純水設備分享半導體清洗超純水設備的工作原理及工藝流程

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2022-11-13 20:38:46無錫草莓视频app在线入口ios環保科技有限(xian)公司516

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一(yi)、半(ban)導體清洗(xi)用(yong)超純水設備概(gai)述

半導體清洗用超純水設備主(zhu)要(yao)應(ying)用在半導體清洗行業，草莓视频app在线入口ios環保該設備采用先進的反滲透技術(shu)和(he)EDI技術，保(bao)證(zheng)設備的質(zhi)量和出水水質。無錫草莓视频app在线入口ios整體采用先進(jin)的不(bu)鏽鋼材腐蝕(shi)能力強(qiang)，同時(shi)也(ye)不會(hui)出(chu)現(xian)生鏽問(wen)題，質量可靠，受到用戶的一致好評(ping)。

無錫純水設備.jpg

二(er)、半導體清洗用超純水設備工作(zuo)原理

EDI裝置將(jiang)離(li)子交換樹(shu)脂(zhi)充(chong)夾(jia)在陰/陽離子交(jiao)換膜之間(jian)形(xing)成EDI單元(yuan)。EDI工作原(yuan)理如下圖(tu)所(suo)示。EDI組(zu)件中將一定(ding)數(shu)量的(de)EDI單元(yuan)間用網狀(zhuang)物隔(ge)開(kai)，形成(cheng)濃水室(shi)。又(you)在單元(yuan)組兩端設置陰/陽電極(ji)。在直流電的推(tui)動(dong)下，通(tong)過淡水室水流(liu)中的陰(yin)陽離子(zi)分別(bie)穿(chuan)過(guo)陰陽離子交換膜進入到(dao)濃(nong)水室而在淡水室中(zhong)去除。而通過濃水室(shi)的水將離子帶出係(xi)統(tong)，成為濃水.EDI設備一般以反滲(shen)透(RO)純水作為EDI給水。RO純水電導率(lv)一般(ban)是40-2μS/cm(25℃)。EDI純水電阻率可以(yi)高達(da)18MΩ.cm(25℃)，但(dan)是根據去(qu)離子水用途和係統(tong)配(pei)置設置(zhi)，EDI純水適用於製備電阻率要求(qiu)在1-18.2MΩ.cm(25℃)的純水。

三、半導體清洗用超純水設備製備工藝
1、預處理係統→反滲透係統→中間水箱→粗(cu)混合床(chuang)→精(jing)混合床→純水箱→純水泵→紫外(wai)線殺菌器→拋光混(hun)床→精密過濾器→用水點(dian)。(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)
2、預處理→反滲透→中間水箱(xiang)→水泵→EDI裝置→純化(hua)水箱→純水泵→紫(zi)外線(xian)殺菌器→拋光混床→0.2或(huo)0.5μm精密過濾器→用水點。(≥18MΩ.CM)(較(jiao)新工藝)
3、預處理→一級(ji)反滲透→加(jia)藥(yao)機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正(zheng)電荷(he)反滲膜)→純水箱→純水泵(beng)→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密(mi)過濾器→用水點。(≥17MΩ.CM)(較新工藝)
4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點。(≥15MΩ.CM)(較新工藝)
5、預處理係統→反(fan)滲透係統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌(jun)器→精密過濾器→用水點。(≥15MΩ.CM)(傳統工藝)

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